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FB7008D型 多功能等離子體實(shí)驗儀

產(chǎn)品名稱(chēng):FB7008D型 多功能等離子體實(shí)驗儀

產(chǎn)品詳情

本實(shí)驗裝置由本公司與浙江大學(xué)共同研制。
鍍膜原理
真空濺射離子、電子飛速運動(dòng),放電離子飛速轟擊機臺靶面,濺擊大量(銀、銅等)介質(zhì),原子逐步沉積到基片襯底表面成膜。
主要實(shí)驗內容
☆不同金屬材料薄膜制備;
☆利用空陰極放電制備了CU和Ag涂層研究空陰極對薄膜結構;
☆在光學(xué)材料上薄膜的制備及特性的測量的影響;
☆研究離子轟擊對膜性質(zhì)的影響。
儀真空系數:旋片式真空泵,單相220V,抽速4L/s,極限真空:6×10-1Pa。
☆工作氣壓:10~200Pa;
☆工作電壓:0~1500V可調
☆工作電流0~200mA可測量
☆基臺加熱控溫系統室溫200度;
☆濺射鍍膜鐘罩直徑140mm高度150mm;
☆基臺可升降,可調范圍:10~50mm。

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